本招标项目**英寸非接触式光刻机招标人为中国科学院****技术物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为***%。该项目已具备招标条件，现对**英寸非接触式光刻机进行国内****。

*.* 招标编号：***************

*.* 招标项目名称：**英寸非接触式光刻机。

*.* 数量：*套。

*.* 核心技术指标：

*.*.* 曝光光源：汞灯（*线）

*.*.* 最大光刻面积：≥*英寸

*.*.* 分辨率：优于*.*μ* (正性光刻胶厚度***)

*.*.* 套刻精度：优于±***** @ *英寸

*.*.* 曝光时间：≤**** @*****（*英寸全片超过*.**个多边形结构）

*.*.* 掩模版下表面与芯片上表面之间距离不小于****

*.* 设备要求：非进口设备、全新、完整、未使用过

*.* 交货地点：中国科学院****技术物理研究所。

*.* 交货期：合同生效后*个月内。

*.* 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

*.*本次招标不接受代理商投标。

*.*本次招标不接受联合体投标。

*.*其他要求：授权代表须提供投标截止时间前最近*个月中任意*个月社保证明文件（如果委托代理人的社保不是投标人缴纳，需要提供委托代理人和投标人之间的用工合同，投标人委托第*方投保的有效合同证明）。

*.*投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。

*.*凡有意参加投标者，请于****年*月*日至****年*月**日**时(北京时间)，登*****（网址：***.********.***.**,注册操作咨询电话***-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。

*.* 招标文件每套售价***元(从****下载电子发票），售后不退。

*.*投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为****年*月*日*时**分，地点为****市****区玉田路***号，**号楼*楼会议室。

*.*逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

本次招标公告同时在****和中国招标投标公共服务平台上发布。

招标人名称：中国科学院****技术物理研究所

地址：****市****区玉田路***号

联系人：****

电话：***-********

招标代理机构：****

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路*字路口东南角**号大楼

售卖联系人：****

电话：***-********

项目负责人：贾梦星

电话：***-********

传真：***-********

电子邮件：**********@******.***

****年*月*日