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申购单号：***************** 签约时间：
申购主题：**** 送货时间：发布竞价结果后*天内送达
采购单位：**** 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：****省/****市/****区/****
发票类型：增值税普通发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：定制磁控溅射，并与手套箱集成。 *.* 用于制备：**、**、**、*、**、**、**、**、**、**、**、**、氧化铝、氧化钛、氧化锆、***、***、氮化钽、氮化钛等。 *.* 多靶材倾斜共溅射的方式，可沉积混合物/化合物薄膜。 *.* 在溅射过程中加入氧、氮或其它活性气体,可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜。 *.* 设备简单易于控制、镀膜面积大、薄膜附着力强，尤其适合高熔点和低蒸汽压的材料。 *.* 磁控溅射技术是工业镀膜的主要技术之*，易于科研成果转化，是新技术向工业领域推广的最经济有效的方法之*。

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件
*	****	*(台)		沈阳科仪	******	*.片内膜厚均匀性：≤±*%。 *.极限真空度：≤****-***(经烘烤除气后)。 *.抽速：**分钟可达到*.****-* **。 *。真空室尺寸：***×***×***，真空室需选用优质***不锈钢材质，表面电解抛光处理。 *.磁控靶：*套，规格*英寸，强磁靶*套，永磁靶*套。 *.直流电源****，数量*台。 *.射频电源****，数量*台。 *.偏压电源-****，数量*台。 *.基片台尺寸：*英寸，样品台炉丝温度： ***℃±*℃（无氧环境）基片自转速度：*～**转/分。 **.质量流量控制气：*路（氩气、氧气、氮气）流量准确度±*.*%*.* **.泵抽系统：脂润滑分子泵*台，抽速不小于*****/*，旋片真空泵*台，抽速不小于***/*。 **.真空测量：复合真空计*台：*******-****-*** **.工艺薄膜规 *.*****（精度*.*%） **.设备具有智能控制系统，系统具有完备的自锁、互锁保护系统，并对关键部件有完备的故障报警及报警动作保护措施，确保设备使用安全。系统采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，可实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的自由组合，并*键式全自动运行。所提供软件要有软件著作权。	在甲方现场验收后，*年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费