低压电子束曝光
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*****************年*至*月****意向-**** 详细情况
| **** | |
| 项目所在采购意向： | *****************年*至*月****意向 |
| 采购单位： | ************* |
| 采购项目名称： | **** |
| 预算金额： | ****.*******元(人民币) |
| 采购品目： |
*********电气物理设备
|
| 采购需求概况 ： |
*、加速电压不低于****； *、写场大于*** μ*； *、最大加工晶圆尺寸不低于*英寸； *、图形发生器频率不低于*****。
|
| 预计采购时间： | ****-** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位****工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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