微波等离子体沉积设备（JLU-KC25022）采购公告
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正文
| 项目名称 | **** | 项目编号 | ***-******* |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公示截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | **** | 付款方式 | |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 国内合同签订后**个日历日内 | |
| 预算 | ￥***,***.** | ||
| 发票要求 | 增值税发票（*般纳税人须开具增值税专用发票） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
||
| 收货地址 | ****省****市****区********研究院产学研示范楼***室 | ||
采购清单
*
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| **** | * | 台 | 其他真空获得及应用设备 |
| 品牌 | 碳方程 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ***-****** | ||
| 品牌 | 奥威赢 | ||
| 规格型号 | **-**** | ||
| 品牌 | 鑫泓智能 | ||
| 规格型号 | ****** | ||
| 技术参数 | *.微波源 *.*微波功率：**** *** *.*输出功率：*.*-** ** 连续可调 *.样品台 *.*样品台升降：±** ** *.*样品台直径：不小于Φ****； *.*基片测温：红外测温范围***—**** ℃ *.反应室 *.*极限真空压力：极限真空度优于*.* **（双级旋片泵） *.*真空泄漏率：≤*.*×**-****.**/*。 *.*反应气体：* 路流量控制器（**、***、**、**） *.*工作气压：* ****—*** **** *偏压系统 *.*偏压参数 ：输出电压：*-*** *(空载**** *) *.*输出电流：*-* * *.*控制精度: *%，占空比*-** |
||
| 售后服务 | 服务网点:外地;电话支持:****小时;服务年限:*年;服务时限:报修后**小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:*年; | ||
****
****-**-** **:**:**
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