松山湖材料实验室2025年05月至2025年10月政府采购意向
2025-05-23
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正文
公告内容:
****湖材料实验室****年**月至****年**月****意向
为便于供应商及时了解****信息,根据《财政部关于开展****意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实****政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|---|
* | ****湖材料实验室***刻蚀设备采购项目 |
标的名称:***刻蚀设备采购项目
标的数量:*
主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。
需满足的要求:*、样品尺寸:*-*寸; *、刻蚀材料:**、****,***等半导体材料,常见金属以及金属基材料; *、配备***、****、***、***、****等工艺气体; *、片内、片间均匀性(*寸):≤±*%; *、 ***刻蚀指标: *) 刻蚀速率:&**;*****/***; *) **选择比:&**;*; *) 侧面倾角:&**;**°;
|
遵循落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位贫困地区农副产品等政策情况 | *,***,***.** | ****年**月 |
本次公开的采购意向是本单位****工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****湖材料实验室
****年**月**日

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