高真空磁控溅射仪（清采比选20250840号）采购公告

招标-其他 2025-05-22 纠错

项目编号：清采比选20250840号

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采购项目名称	****	采购项目编号	清采比选********号
公告开始时间	**-- ::	公告截止时间	**-- ::
采购单位	****	付款方式	合同签订后%，验收合格后%
对外联系人	本项目不接受咨询	联系电话	本项目不接受咨询
签约时间要求	成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)	交货时间要求	签订合同后**个工作日内
最高限价	*****.
交货地址	**市**指定地点

物资名称	采购数量	计量单位
****	*	台

技术参数及配置要求	产品型号 *-* 本设备要求在温度 ℃±℃，湿度 %±%** 下使用。、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）、电：**** *，必须有良好接地、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 .%以上），需自备氩气气瓶（自带？*** 双卡套接头）及减压阀、工作台：尺寸 ***×*×*，承重 *** 以上、通风装置：需要主要参数、电源电压：** ** 、总功率：＜.*** 、腔体内径：？**，真空室材质 * 不锈钢。、极限真空 .** -，从大气开始抽气，* 分钟后可达 .* -。、真空计：复合真空计测量范围 ×* -× -；薄膜规工作压强范围与精度 **-.****,读数误差 .%，分辨率 .**%..。、靶枪数量：* 个(含个强磁靶和个普通靶)，靶极距：可调范围（-）* 、靶枪冷却方式：水冷、靶材尺寸：？″，厚度 .*-（因靶材材质不同厚度有所不同）、配有套直流电源，直流溅射功率：* 、配有套射频电源，射频溅射功率：* 、套电源可支持单独溅射、轮流溅射与多靶共溅射。、载样台：？**，支持加热 -**℃，精度±℃ 、载样台转速：-* 内可调、横向旋转样品台：可旋转，转速（-** 可调）、保护气体：、等惰性气体 *、进气气路：质量流量计控制路进气，* 个流量为 * *，个流量为 * ** 气体流量控制器准确度：准确度±.%.，线性±%.，重复精度± .%.。、产品规格： ·尺寸：主机尺寸：**×**×***；直流电源控制系统 * 套 - * 射频电源控制系统 * 套 - * 膜厚监测仪系统 * 套 - * 分子泵 * 台 - * 聚酯管（？） * 、正常使用情况下，公司负责产品年“包”。（不包含配件耗材）、售后质保：提供设备的系统说明书、详细操作流程及外购配件仪器仪表说明书。在甲方现场验收后，年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费。、以签订合同及收到预付款时间为起点，备货期间，客户单位可随时到公司使用设备进行实验，（需自己携带靶材等相关耗材），此期间不收取任何加工费等费用
质保期	**个月

技术参数及配置要求

产品型号 ***-***** 本设备要求在温度 **℃±**℃，湿度 **%**±**%** 下使用。 *、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） *、电：****** ****，必须有良好接地 *、气：设备腔室内需充注氩气（纯度 **.**%以上），需自备氩气气瓶（自带？*** 双卡套接头）及减压阀 *、工作台：尺寸 ******×*****×*****，承重 ***** 以上 *、通风装置：需要主要参数 *、电源电压：**** **** *、总功率：＜*.*** *、腔体内径：？*****，真空室材质 *** 不锈钢。 *、极限真空 *.**** -***，从大气开始抽气，** 分钟后可达 *.**** -***。 *、真空计：复合真空计测量范围 *×** *-*×** -***；薄膜规工作压强范围与精度 ****-*.*****,读数误差 *.*%，分辨率 *.***%*.*.。 *、靶枪数量：* 个(含*个强磁靶和*个普通靶)，靶极距：可调范围（**-***）** *、靶枪冷却方式：水冷 *、靶材尺寸：？*″，厚度 *.***-***（因靶材材质不同厚度有所不同） *、配有*套直流电源，直流溅射功率：**** **、配有*套射频电源，射频溅射功率：**** **、*套电源可支持单独溅射、轮流溅射与多靶共溅射。 **、载样台：？*****，支持加热 **-***℃，精度±*℃ **、载样台转速：****-***** 内可调 **、横向旋转样品台：可旋转，转速（*-***** 可调） **、保护气体：**、** 等惰性气体 **、进气气路：质量流量计控制 * 路进气，* 个流量为 *** ****，* 个流量为 *** **** 气体流量控制器准确度：准确度±*.*%*.*，线性±*%*.*，重复精度± *.*%*.*。 **、产品规格： ·尺寸：主机尺寸：*****×******×******； * 直流电源控制系统 * 套 - * 射频电源控制系统 * 套 - * 膜厚监测仪系统 * 套 - * 分子泵 * 台 - * 聚酯 ** 管（？***） ** *、正常使用情况下，公司负责产品*年“*包”。（不包含配件耗材） *、售后质保：提供设备的系统说明书、详细操作流程及外购配件仪器仪表说明书。在甲方现场验收后，*年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费。 *、以签订合同及收到预付款时间为起点，备货期间，客户单位可随时到公司使用设备进行实验，（需自己携带靶材等相关耗材），此期间不收取任何加工费等费用

质保期

**个月

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