高温环境下压力测试用高温陶瓷压力传感器及其加工方法
2025-04-01
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本发明涉及压力传感器领域,具体是*种****。能够长时间在特殊高温环境下实现有效的压力测试。包括感压陶瓷件,感压陶瓷件内设密闭腔室,感压陶瓷件上、下平面上皆设电极层、平面螺旋电感,*电极层构成电容;电容与*平面螺旋电感串联形成**回路。加工步骤含:*、流延;*、打孔;*、叠片、填充;*、层压、热切;*、高温烧结;*、印刷、低温烧结;*、空腔密封。本发明以全新角度设计和实现传感器敏感元件的具体结构,结构巧妙、合理,实现了基于**谐振原理、以非接触性无线方式进行检测的无源无线高温陶瓷压力传感器,能够在***℃以上高温环境下长时间进行压力测试。

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