深圳国际量子研究院半导体材料外延设备采购意向公开
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****国际量子研究院****采购意向公开
****国际量子研究院****采购意向公开
| 采购单位: | ****国际量子研究院 |
| 项目名称: | ****采购 |
| 预算金额（元）: | **,***,***.*** |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 拟购设备需要具有*英寸的大的载物台，预处理腔，外延工艺腔，冷却腔，温度控制系统，压力控制系统，传输模块，软件控制模块等。拟购设备需要支持半导体材料外延沉积技术，支持可扩展掺杂功能（如磷、硼掺杂），配备气体泄漏自动报警及应急处理系统，具备连续运行稳定性，提供设备安装调试、操作人员培训等服务。" |
| 预计采购时间: | ****-* |
| 联系人: | **** |
| 联系电话: | ****-******** |
| 备注: | 无 |
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