202510100964近空间升华炉结果公告
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************近空间升华炉结果公告
| 申购单主题： | 近空间升华炉 | 申购单位： | 材料学院 | 是否含税： | 否 | 使用币种： | 中山大学 |
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 近空间升华炉 | 弗莱尔 | ***-***** | 是 | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | *．炉体参数： *.机柜外形尺寸 ～************** *.工作腔室采用 *** 不锈钢，内壁抛光，外层设计有水冷通道散热，外壳温度≤**℃。采用密封圈密封。腔体内尺寸不小于 *************。 *.腔体内设计*个石英样品台，样品总成放置于上。通过使用配套的不同石墨坩埚和石墨片组合，可以实现*次蒸镀和*次升华工艺。 *.不锈钢腔室上层*角设计进气口，外接*通也通入多路气体，配*路质量流量计进气，氩气、空气/氧气，精度±*%。流量范围 **～********。下层对角设计抽真空和排气口，有超压保护。 *．温区设置和加热元件 *.上下*层独立加热，分别设置 * 个测温点，上下各 * 支镀反射层的短红外波加热灯管，上下同时加热，升温速率可达 *-**℃/秒，最高温度可达***℃，温度均匀性±*℃，控温精度±*℃，温度过冲≤*℃，重复精度≤*℃。可通入大流量气体实现快速降温。 *、真空与气氛操作 *.机柜内设计有*路质量流量计，可以精确自动调节和配比气体，机柜内设计有真空自动平衡装置，可以设置*个真空度，系统会自动稳定在设定值；设备可实现通*定气体后再镀膜或者恒压镀膜。 *.抽真空能力 大气到≤*** 小于 ****；真空平衡范围 *（±*.*****）～*******（±*%）；泄漏率≤*-*（****/*）/***；真空计显示范围 *.*-*******，最大分辨率 *.***** *、系统控制 *.触摸屏操控，可直接设置所有参数，包括流量计的大小，温度工艺曲线，设定曲线和实时曲线的显示和记录。控温精度±*℃，具有自动连续 *** 调节、超温报警、断偶指示等功能。 系统可实现温度、气体、工艺气压、与时间的全自动协调控制。 *、水电气要求 电：*相*线 ****，电源线≥**米； 气：共*路（氩气、氧气）； 水：自带冷水机 *、配件： *.样品总成构成 样品总成*共*个件：石英外框、坩埚 *、坩埚 *、中转石墨片、厚石墨匀热片、石英垫高环，可兼容样品大小*******，可调节间距***~***，可实现镀膜区域大于******* *.样品总成数量 共配套*套样品总成 *.石墨中转片 额外配置*套表面碳化硅镀膜的中转石墨片 *.石英垫高环 配备*套石英垫高环调节间距，每套包含***，***，***，***的垫高环各*片 | |||||||
| 中标供应商 | 是否满足 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 是 | ****** | * | |||||
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