近空间升华炉(申购单编号:202510100964)
2025-02-28
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申购单主题: | **** | 申购单位: | 材料学院 | 申购人: | 高平奇 |
报价类型: | 国内含税价 | 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | ****-**-** **:**:** |
申购备注: |
商品名称 | 品牌厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | 规格 |
---|---|---|---|---|---|
**** | 弗莱尔 | ***-***** | * | 免费安装与调试:购买设备后,厂家或经销商需提供免费的安装和调试服务。 定期回访:售后团队需在设备购买后*定时间内进行电话或上门回访,了解设备使用情况,并提供必要的指导。 技术培训:为使用户更好地掌握设备操作和维护方法,厂家或经销商需提供至少*次免费的技术培训。 *配件供应:厂家需保证在保修期内提供原厂*配件,并在保修期外提供有偿更换服务。 故障响应时间:在设备出现严重故障时,售后团队需在接到报修电话后**小时内响应,并在约定时间内上门维修。 维修质量保证:维修后的设备,厂家或经销商需提供*定期限的维修质量保证。 退换货政策:在设备出现质量问题或无法正常使用的情况下,用户有权要求退换货,厂家或经销商需明确退换货流程及期限。 售后服务热线:厂家或经销商需设立专门的售后服务热线,为用户提供咨询、报修、投诉等服务。 | *.炉体参数: *.机柜外形尺寸 ~************** *.工作腔室采用 *** 不锈钢,内壁抛光,外层设计有水冷通道散热,外壳温度≤**℃。采用密封圈密封。腔体内尺寸不小于 *************。 *.腔体内设计*个石英样品台,样品总成放置于上。通过使用配套的不同石墨坩埚和石墨片组合,可以实现*次蒸镀和*次升华工艺。 *.不锈钢腔室上层*角设计进气口,外接*通也通入多路气体,配*路质量流量计进气,氩气、空气/氧气,精度±*%。流量范围 **~********。下层对角设计抽真空和排气口,有超压保护。 *.温区设置和加热元件 *.上下*层独立加热,分别设置 * 个测温点,上下各 * 支镀反射层的短红外波加热灯管,上下同时加热,升温速率可达 *-**℃/秒,最高温度可达***℃,温度均匀性±*℃,控温精度±*℃,温度过冲≤*℃,重复精度≤*℃。可通入大流量气体实现快速降温。 *、真空与气氛操作 *.机柜内设计有*路质量流量计,可以精确自动调节和配比气体,机柜内设计有真空自动平衡装置,可以设置*个真空度,系统会自动稳定在设定值;设备可实现通*定气体后再镀膜或者恒压镀膜。 *.抽真空能力 大气到≤*** 小于 ****;真空平衡范围 *(±*.*****)~*******(±*%);泄漏率≤*-*(****/*)/***;真空计显示范围 *.*-*******,最大分辨率 *.***** *、系统控制 *.触摸屏操控,可直接设置所有参数,包括流量计的大小,温度工艺曲线,设定曲线和实时曲线的显示和记录。控温精度±*℃,具有自动连续 *** 调节、超温报警、断偶指示等功能。 系统可实现温度、气体、工艺气压、与时间的全自动协调控制。 *、水电气要求 电:*相*线 ****,电源线≥**米; 气:共*路(氩气、氧气); 水:自带冷水机 *、配件: *.样品总成构成 样品总成*共*个件:石英外框、坩埚 *、坩埚 *、中转石墨片、厚石墨匀热片、石英垫高环,可兼容样品大小*******,可调节间距***~***,可实现镀膜区域大于******* *.样品总成数量 共配套*套样品总成 *.石墨中转片 额外配置*套表面碳化硅镀膜的中转石墨片 *.石英垫高环 配备*套石英垫高环调节间距,每套包含***,***,***,***的垫高环各*片 |
中标供应商 | 单价(元) | 初选理由 |
---|---|---|
**** | ******.* | 最低价原则 |

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